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电子扫描显微镜(TESCAN VEGA 3 LMH)

发布日期:2016-09-01 09:35:00

 分辨率:(二次电子):3.0nm at 30kv;8nm at 30 kV 

 工作真空:高真空,低真空  <9×10-3Pa 
 电子光学工作模式    分辨率/景深/视野/大视野/电子衍射花样
 放大倍率    2.5x-1,000,000x连续可调
 加速电压    200V至30KV
 电子枪       钨灯丝/六硼化镧
 探针电流    1pA至2μA
 扫描速度    从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整
 聚焦窗口    大小和位置连续可调
 扫描特性    动态聚焦,聚焦窗口,点和线扫描,倾斜校正,实时三维图像
 图象尺寸    最大可达8192×8192象素,图象比例可选1:1、4:3或2:1